MEMS*1ファブリ・ペローチューナブルフィルタ
ファブリ・ペロー干渉計とアクチュエーターを一体化した自社開発の薄型小型な分光デバイスです。
所望の波長の光を透過させるだけでなく、優れた精度、正確性、高速動作が可能です。
*1MEMS：Micro Electro Mechanical Systemsの略称で、機械要素部品、電子回路を１つの基板上に集積化すること、またはその技術を用いて製造したマイクロデバイスの総称。
想定使用例
目視（カラー）検査の自動化
将来のアプリケーション
活用事例
このデバイスは様々な用途に使用可能なため、幅広い波長に対応したラインアップを開発して応用範囲を広げていきます。
参考文献
本技術の紹介動画
展示会
